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全自動紫外線芯片應力測量儀

更新時間:2020-12-14

產品品牌:Frontier Semiconductor

產品型號:FSM360

產品描述:全自動紫外線芯片應力測量儀一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量芯片應力。

FSM360是一臺全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量芯片應力。

利用微米直徑光斑照射。
芯片會產生另外一個光束(Raman信號),Raman信號的頻率有別于原來的光源。
從Raman信號頻率我們可以測出樣本的應力大小。
紫外線Raman主要用于薄膜或樣本表面的應力測量。
可見光Raman主要用于多層薄膜或厚樣本的應力測量。
 
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